1m3/h~9m3/h高純氬氣凈化器設備參數(shù):
可以凈化的氣體有氬氣、氮氣、氫氣、氦氣等惰性氣體
1. 氬氣凈化流量1 m3/h~9 m3/h。
2. 工作壓力:0.2~0.6MPa。
(也可做高壓的0.2~15MPa。)。
3. 功率:2KW ~6KW.
4. 設備外形尺寸(寬×厚×高):450×450×1020~900×650×1800。
5. 凈化效能:
氣體 | 純度(%) | H2 | O2 | CO | CO2 | CH4 | 露點 |
原氬 | 99.9 | <100 | <15 | <5 | <5 | <5 | -65℃ |
精氬 | 99.9999 | ≤0.2 | ≤0.3 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.2 | -80℃ |
1m3/h~9m3/h高純氬氣凈化器設備參數(shù):
可以凈化的氣體有氬氣、氮氣、氫氣、氦氣等惰性氣體
1. 氬氣凈化流量1 m3/h~9 m3/h。
2. 工作壓力:0.2~0.6MPa。
(也可做高壓的0.2~15MPa。)。
3. 功率:2KW ~6KW.
4. 設備外形尺寸(寬×厚×高):450×450×1020~900×650×1800。
5. 凈化效能:
氣體 | 純度(%) | H2 | O2 | CO | CO2 | CH4 | 露點 |
原氬 | 99.9 | <100 | <15 | <5 | <5 | <5 | -65℃ |
精氬 | 99.9999 | ≤0.2 | ≤0.3 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.2 | -80℃ |